MEMS公共技術平臺由無錫微納產業發展有限公司、中國物聯網研究發展中心、無錫華潤上華半導體有限公司、中科院上海微系統與信息技術研究所、中科院微電子研究所等多家單位共同建設。 平臺以核心技術突破、產業集聚、人才集聚、支撐物聯網產業發展及應用示范為目標，將分別建設MEMS設計服務子平臺、MEMS工藝試驗線、MEMS測試服務子平臺。

    MEMS設計與制造公共技術平臺從完善MEMS傳感器產業鏈的角度出發，依托華潤上華十余年半導體經驗和規模制造能力，通過物聯網研究發展中心的橋梁紐帶作用，建設國內首條與CMOS工藝線和MEMS規模制造線無縫對接的MEMS研發生產和測試平臺，在無錫形成國內首個具備設計、加工和測試服務能力的較為完備的MEMS公共技術平臺，在傳感網國際創新園集聚一批具有自主知識產權的MEMS傳感器研發機構和企業。

組織與團隊

MEMS公共技術平臺現有員工50余人，研究員3人，副高級12人；博士11人，海歸3人。

領軍人物：

歐文-智能傳感器工程中心主任

現任智能集成傳感器工程中主任，負責MEMS設計服務平臺建設和封裝測試平臺建設。曾任中科院微電子所硅器件與集成電路研究室副研究員，研究員，華潤上華微電子研發工程師，項目經理。負責國家973項目非揮發性存儲器與邏輯電路兼容關鍵工藝技術研究，九五攻關項目0.35um 集成電路關鍵技術研究和0.1um級CMOS器件和性能研究”等重大國家級項目的研究工作。

顏苑-智能傳感器工程中心副主任

華美信息存儲協會副會長、2011年美國硅谷高創會秘書長。曾任職于英特爾、希捷、日立和中芯國際等公司。在半導體、數據存儲、MRAM、傳感器以及MEMS領域擁有超過15年的專業經驗，包括先進的光刻技術，新工藝與技術開發、集成，材料特性及質量驗證等。擁有豐富的團隊領導經驗，具備項目和人員管理，客戶與供應商銜接以及處理各種復雜問題的能力。